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HEPA/ULPA <超高性能フィルタ>   ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルタは、非常に清浄度の高い空気が求められている電子工業や精密機械工業など向けに開発された、超高性能タイプのエアフィルタです。 フィロシステム <ユニット型フィルタケーシング、超高性能タイプ>   ＨＥＰＡフィルタ専用ケーシングとして開発した、超高性能タイプのユニット型フィルタ装置です。フィルタの締め付けは当社独自の特殊締め付け機構を採用し、メンテナンスは容易なヨコ引き出しになっています。他に、チャンバー内装着タイプとして、フィルタの段積みを可能にした、ＨＥＰＡ専用取付枠があります。 注意 ご覧いただくためにはAdobe Acrobat Reader 4.0　以上が必要です。

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