粗じん中高性能フィルタシステム | 日本バイリーン（株）

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フィロシステムは、個々のフィルタユニットをトータルシステムとして装置化したユニット型フィルタ装置です。メンテナンスは容易なヨコ引き出しになっています。
他に、チャンバー内装着タイプとして、フィルタの段積みを可能にした、専用取付枠があります。

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